• 0.5微米傳感度
• 0.1立方英尺/分鐘（2. 83 行數/分鐘）流速
• 4通道同時數據顯示
• 符合JIS標準
• 小巧外觀
• 不銹鋼外殼
• 狀態指示燈
• 外置式報警
• 溫濕度計（可選項）
• RS-485 Modbus 通信協議
• 面向設備監測系統的界面
• 多種配置可供選擇
• 外置式真空源
• 值得信賴的設計

• 兩年質量保證
• 空間有*便于安裝
• 每點高性價比
• 完整的驗證數據
• 提供持續實時監測數據
• 綜合安裝系統
• 技術服務支持
• 用戶低成本

• 潔凈室監測
• 設備認證
• 設備監測
• SMIF 監測和FIMS封裝
• 潔凈室凈衣區
• 潔凈室包裝區
• 半導體業
• 航天航空
• 硬盤制造業
• 醫藥包裝和制造

微徑大小

0.5-25.0微(wei)米

通道大小

標準: 0.5-5.0 微米

計數效能

50% @ 0.3 ?m; 100% for particles>0.45?m （per JIS）

流速

0.1立方英尺/分鐘（2. 83 行數(shu)/分鐘）

激光源

激光二極管

零計數度

<1計數/5分鐘（每(mei)JIS）

校準

NIST跟蹤

真空要求

外置式真(zhen)空(kong)度為(wei)>38.1厘米汞柱

空氣流速

內部監測

通信模式

RS-485 Modbus

LED 指示燈

電源, 流速, 維修(xiu), 采樣

數據儲存

250 個樣本量

接口

RJ 45

軟件支持

萊特浩斯微粒監測系統

外置式報警

正常(chang)開放式通(tong)氣接觸(chu)率 0-60 V AC/DC 1 Amp

環境傳感器

（可選項） 溫濕度計(ji)32 - 122F （0-50C）+/-1F （0.5C）, 0 - 100% RH +/-2%

:濃度限制

2000,000個/立方英尺@5%重疊損(sun)失

外殼

不銹鋼

電源

24伏直流電

尺寸

1.7英寸（長）×4.2英寸（寬(kuan)）×3英寸（高(gao)）[4.3 x 10.7 x7.6cm]

重量

15.6盎司（0.44公斤）

操作

溫(wen)度(du)50°F到104°F（10°Ｃ到４０°Ｃ）／濕度(du)20%到95%無凝(ning)結(jie)

存儲

溫度14°F到122°F（-10°Ｃ到5０°Ｃ）／濕度98%無(wu)凝結

隨機配件

操作手冊

備選項

等動力采樣頭,采樣試管, 電(dian)纜(lan)線 , 凈化(hua)過濾器, 電(dian)源(yuan)穩壓器., 溫濕度(du)計(ji), 8’ T/RH 探頭延長電(dian)纜(lan)線